刻線誤差;投影光刻物鏡;光學(xué)設(shè)計(jì);光柵制造...[繼續(xù)閱讀]
工具技術(shù)2023-05-17
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刻線誤差;投影光刻物鏡;光學(xué)設(shè)計(jì);光柵制造...[繼續(xù)閱讀]
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī);誤差補(bǔ)償;誤差模型;誤差仿真...[繼續(xù)閱讀]
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調(diào)頻原子力顯微鏡;AFM精密掃描平臺(tái);壓電掃描器;滯后效應(yīng);非線性校準(zhǔn)...[繼續(xù)閱讀]