真空調(diào)頻原子力顯微鏡高精度掃描器設(shè)計(jì)與校準(zhǔn)

摘要： 原子力顯微鏡(AFM)是一種表征樣品表面的物理化學(xué)信息的精密儀器，AFM高精度掃描器是整個(gè)測(cè)量與表征系統(tǒng)的核心部件，其性能直接影響整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的性能，因此對(duì)原子力顯微鏡高精度掃描器的研究具有重要意義。介紹了調(diào)頻原子力顯微鏡(FM-AFM)、AFM精密掃描平臺(tái)以及掃描器的基本原理，提出了更為精確的掃描器設(shè)計(jì)模型，并將根據(jù)真空FM-AFM實(shí)際需要設(shè)計(jì)的掃描器搭載到自主研發(fā)的超高真空...