微光機電系統(tǒng)(MOEMS);光柵加速度計;泰伯效應;溫度閉環(huán)反饋控制;零偏穩(wěn)定性...[繼續(xù)閱讀]
微納電子技術2024-04-12
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微光機電系統(tǒng)(MOEMS);雙軸MOEMS加速度計;泰伯效應;微納光柵;陽極鍵合...[繼續(xù)閱讀]
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