ECR-MPCVD單晶金剛石外延生長研究
真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報
頁數(shù): 7 2023-08-31
摘要: 借助高速光纖光譜儀對ECR微波等離子體進(jìn)行實(shí)時診斷,研究了等離子體空間分布以及工作氣壓和甲烷濃度對等離子體發(fā)射光譜的影響,并在ECR-MPCVD設(shè)備上研究了單晶金剛石同質(zhì)外延生長工藝。在CH
4/H
2體系下,ECR微波等離子體與運(yùn)行于中高氣壓下等離子體中所含基團(tuán)種類基本相同。且等離子體各基團(tuán)譜峰相對強(qiáng)度沿磁場強(qiáng)度梯度下降的方向減弱,在磁場共振區(qū)(875 Gs)最強(qiáng),將基片臺置...