電化學(xué)放電加工中氣膜厚度及其影響研究

摘要： 玻璃作為一種非導(dǎo)電硬脆材料，在光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。電化學(xué)放電加工作為針對(duì)絕緣硬脆材料的有效微細(xì)加工技術(shù)，可以在玻璃上進(jìn)行有效的微結(jié)構(gòu)加工。在電化學(xué)放電加工中，放電現(xiàn)象通過擊穿氣膜產(chǎn)生，氣膜作為加工過程中最重要的介質(zhì)，其質(zhì)量是形成良好的表面微結(jié)構(gòu)的重要因素。文章研究的重點(diǎn)是氣膜特性及其對(duì)放電能量分布的影響。研究采用三因子三水平的全因子試驗(yàn)方法，以電源、占空比...