芯片級(jí)多軸集成微陀螺方案對(duì)比與發(fā)展趨勢(shì)分析

摘要： 微機(jī)械陀螺儀作為檢測(cè)載體角速率信息的器件，在姿態(tài)控制平臺(tái)和慣性導(dǎo)航領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。首先結(jié)合國內(nèi)外發(fā)展動(dòng)態(tài)及研究成果，分析了三類芯片級(jí)多軸集成微機(jī)械陀螺集成方法：三單軸陀螺正交集成法、單片單結(jié)構(gòu)三軸陀螺法及單片多結(jié)構(gòu)陀螺陣列法。其次，通過對(duì)當(dāng)前方案的總結(jié)與分析，比較了各方案的優(yōu)缺點(diǎn)，設(shè)計(jì)了一種頻差小、抗沖擊能力強(qiáng)的單片三軸輪環(huán)式陀螺結(jié)構(gòu)。仿真實(shí)驗(yàn)表明該結(jié)構(gòu)能承受20000 g沖...