厚度對溶膠-凝膠法制備BaTi_(0.99)Fe_(0.01)O₃薄膜的結(jié)構(gòu)及電性能研究

摘要： 采用溶膠-凝膠法制備在Pt/Ti/SiO₂/(100)Si基片上不同厚度的BaTi_(0.99)Fe_(0.01)O₃(BFTO）薄膜，研究了不同薄膜厚度對BFTO薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、介電和鐵電性能的影響。在薄膜厚度低于370 nm時，BFTO薄膜呈現(xiàn)四方相結(jié)構(gòu)，而隨著厚度進一步增加，薄膜的四方性降低。隨著厚度的增加，有利于提高薄膜的介電常數(shù)，而鐵電性能逐漸降低。在厚度為370...