融合雙重注意力機(jī)制與并行門控循環(huán)單元的晶圓加工周期預(yù)測方法

摘要： 晶圓制造過程中的生產(chǎn)特征數(shù)據(jù)大規(guī)模、特征間復(fù)雜關(guān)聯(lián)和特征樣本強(qiáng)相關(guān)特性導(dǎo)致晶圓加工周期預(yù)測效率低與預(yù)測精度不高，因此提出了一種融合雙重注意力機(jī)制與并行門控循環(huán)單元的晶圓加工周期預(yù)測方法。首先，利用Relief-F算法對生產(chǎn)特征數(shù)據(jù)進(jìn)行降維處理；然后，基于模糊C均值算法對數(shù)據(jù)樣本進(jìn)行工藝相似性聚類，并設(shè)計(jì)并行門控循環(huán)單元網(wǎng)絡(luò)來挖掘晶圓lot特征樣本間的強(qiáng)相關(guān)特性；最后，設(shè)計(jì)了雙重...