任意形狀孔徑的干涉圖時(shí)空移相方法

摘要： 移相干涉術(shù)作為一種高靈敏度的非接觸式光學(xué)測量方法，在精密測量領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。時(shí)空移相方法（spatiotemporal phase-shifting method,ST-PSM）作為一種高精確度的移相算法，可避免傳統(tǒng)移相算法的周期誤差。這使得該算法適用于存在背景光強(qiáng)不均勻、調(diào)制度波動(dòng)以及移相誤差的情況，同時(shí)也能測量畸變的干涉條紋圖像。然而，該方法中的插值擬合步驟要求干涉圖...