高分辨率微線結(jié)構(gòu)光測量系統(tǒng)設(shè)計(jì)

摘要： 為實(shí)現(xiàn)物體表面輪廓高精度三維測量，提出一種視場、物距、測量范圍均較大的遠(yuǎn)心光路測量系統(tǒng)。介紹了系統(tǒng)組成及光三角測量原理，論述了投影與成像雙光路均與被測表面法線呈45°夾角的光路搭建方式可降低較大深度測量范圍對成像物鏡景深的要求；建立系統(tǒng)深度標(biāo)定理論模型，獲得CCD單位像素深度理論值為0.554 4μm；計(jì)算出放大倍率、數(shù)值孔徑等光路參數(shù)并完成光路搭建；通過實(shí)驗(yàn)對所搭建測量系統(tǒng)的...