PMMA/石墨烯異質(zhì)壓力傳感器及傳感特性分析

摘要： 石墨烯具有優(yōu)異機(jī)電性能和超大比表面積，其顯著壓阻效應(yīng)可應(yīng)用于高性能壓力傳感，為探索下一代超靈敏傳感器開辟新方向。目前在研石墨烯壓力傳感器存在石墨烯懸空破損嚴(yán)重、成品率低等難題，其根源在于，石墨烯除膠釋放過程應(yīng)力過載。本文提出以PMMA/石墨烯復(fù)合異質(zhì)薄膜替代單層石墨烯的壓力傳感器新方案，設(shè)計COMS兼容新工藝，可實(shí)現(xiàn)傳感器規(guī)模化制備，成品率接近100%。測試表明，本文傳感器靈敏...