壓電執(zhí)行器輸出位移的精密自感知

摘要： 為省掉外部精密位移傳感器，進(jìn)而減小微裝配與微操作系統(tǒng)的體積，降低系統(tǒng)成本，采用自感知方法來獲取壓電執(zhí)行器的輸出位移。首先，基于壓電執(zhí)行器在電壓作用下發(fā)生變形的同時，還會發(fā)生電極化而在其晶片表面產(chǎn)生電荷這一思想，提出了一種非平衡電流積分式壓電執(zhí)行器的位移自感知方法。其次，考慮到壓電執(zhí)行器的漏電流與介電吸收電流，以及運(yùn)算放大器的偏置電流對自感知精度的影響，給出了能夠精確反映壓電執(zhí)行...