石英諧振加速度計(jì)低溫漂結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及溫度補(bǔ)償

摘要： 溫度影響加速度計(jì)的性能，誤差來源主要由石英材料及封裝工藝產(chǎn)生的熱應(yīng)力引起。針對(duì)加速度計(jì)溫度漂移現(xiàn)象，該文介紹了集成式石英諧振加速度計(jì)低溫漂結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和補(bǔ)償方法。首先通過對(duì)稱的差分結(jié)構(gòu)消除一階溫度系數(shù)，并進(jìn)行工藝優(yōu)化，降低封裝工藝對(duì)諧振器產(chǎn)生的熱應(yīng)力；其次采用隨機(jī)森林?jǐn)M合算法建立溫度模型來補(bǔ)償加速度計(jì)的溫漂。在-20～80℃溫度范圍內(nèi)對(duì)加速度計(jì)樣機(jī)進(jìn)行溫漂測(cè)試，結(jié)果表明，工藝優(yōu)化及...