高品質(zhì)因數(shù)壓電驅(qū)動(dòng)氮化鋁基懸臂梁微諧振器

摘要： 針對(duì)當(dāng)前壓電驅(qū)動(dòng)懸臂梁諧振器存在加工工藝復(fù)雜、成本較高的問題，該文提出了一種基于氮化鋁支撐層的新型壓電驅(qū)動(dòng)懸臂梁層疊結(jié)構(gòu)，它不僅能有效降低加工難度，還能在實(shí)現(xiàn)器件小型化的同時(shí)保持較高的品質(zhì)因數(shù)。該文通過理論分析研究了固定頻率下諧振器品質(zhì)因數(shù)與器件尺寸設(shè)計(jì)的關(guān)系，并對(duì)比了不同支撐層材料對(duì)諧振器品質(zhì)因數(shù)的影響。通過實(shí)驗(yàn)研究了電極尺寸設(shè)計(jì)對(duì)諧振器在真空中性能的影響，從而確定了工作在面...