大于3 GHz超寬帶FBAR濾波器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與仿真
壓電與聲光
頁(yè)數(shù)： 4 2023-10-20
摘要： 該文提出了一種獲得相對(duì)帶寬約為70.61%的基于氮化鋁薄膜的超寬帶薄膜體聲波諧振器(FBAR)濾波器的設(shè)計(jì)方法，即在中心頻率為6.5 GHz下濾波器的帶寬為4.835 GHz。仿真分析表明，通過(guò)串并聯(lián)電感的方式，并在電感端串并聯(lián)電容，可消除因增加電感而帶來(lái)的諧波諧振點(diǎn)干擾對(duì)帶通的影響，實(shí)現(xiàn)了FBAR濾波器的超寬帶。該工作開(kāi)辟了設(shè)計(jì)和制作帶寬超過(guò)3 GHz的超寬帶體聲波濾波器的新...
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