高性能溫補(bǔ)型薄膜體聲波濾波器的研制

摘要： 該文研制了一種高性能溫補(bǔ)型薄膜體聲波諧振(TC-FBAR)濾波器。采用COMSOL軟件對高性能溫補(bǔ)型結(jié)構(gòu)的諧振器進(jìn)行建模和仿真，在常規(guī)一維Mason等效電路模型的基礎(chǔ)上進(jìn)行修正，再在ADS中對濾波器進(jìn)行仿真優(yōu)化設(shè)計(jì)，得到階梯型結(jié)構(gòu)的TC-FBAR濾波器。采用空腔型結(jié)構(gòu)并制備出溫補(bǔ)型FBAR濾波器芯片，同時(shí)在常規(guī)TC-FBAR基礎(chǔ)上制備空氣橋和凸起層結(jié)構(gòu)，得到雙空氣橋結(jié)構(gòu)的高性能...