小型高選擇性MEMS射頻濾波器的設(shè)計(jì)

摘要： 該文設(shè)計(jì)了一款基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝的小型高選擇性的射頻濾波器，與傳統(tǒng)MEMS濾波器相比，該濾波器采用階躍阻抗諧振器(SIR)降低器件尺寸，利用諧振器的場(chǎng)分布形成結(jié)構(gòu)緊湊的交叉耦合，免去了傳統(tǒng)的飛桿電耦合結(jié)構(gòu)，在提高濾波器選擇性的同時(shí)實(shí)現(xiàn)器件的緊湊布局。濾波器表面金屬諧振腔通過(guò)金屬化的硅通孔實(shí)現(xiàn)諧振器的接地，形成四分之一波長(zhǎng)諧振結(jié)構(gòu)。對(duì)性能和結(jié)構(gòu)參數(shù)各異的濾波器進(jìn)行設(shè)計(jì)...