強(qiáng)化空間感知的多尺度芯片表面缺陷檢測算法
儀表技術(shù)與傳感器
頁數(shù): 7 2023-08-25
摘要: 在檢測芯片表面缺陷時(shí),多尺度和不規(guī)則形變的缺陷導(dǎo)致模型難以精準(zhǔn)定位并正確聚類,為此,提出一種改進(jìn)YOLOv5網(wǎng)絡(luò)的芯片表面缺陷檢測框架。利用基于邊緣信息的數(shù)據(jù)增強(qiáng)策略,降低芯片走線的背景紋理,增強(qiáng)不規(guī)則邊緣的輸入特征;提出多尺度空間感知池化層MSSPP(multi-scale spatial perception pooling layer)強(qiáng)化網(wǎng)絡(luò)對(duì)多尺度目標(biāo)的空間定位能力和...