面向單臂組合設(shè)備中緊急訂單的調(diào)度

摘要： 隨著晶圓制造模式向多品種、小批量的轉(zhuǎn)變，在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中頻繁出現(xiàn)緊急訂單插入的情況，不合理的調(diào)度策略將降低組合設(shè)備生產(chǎn)效率。為了提高組合設(shè)備的生產(chǎn)柔性，研究了在考慮晶圓逗留時(shí)間約束條件下，單臂組合設(shè)備面對(duì)緊急插單時(shí)的調(diào)度問(wèn)題。首先，對(duì)緊急插單的加工過(guò)程進(jìn)行分析，提出針對(duì)單臂組合設(shè)備的機(jī)械手調(diào)度規(guī)則，實(shí)現(xiàn)了加工過(guò)程的可調(diào)度性。其次，對(duì)于因加工參數(shù)不同產(chǎn)生的兩種加工狀態(tài)，分別推導(dǎo)出...