壓電式高溫液滴噴射元件研制

摘要： 極紫外(Extremeultra-violet,EUV)光刻機光源主要采用激光產(chǎn)生等離子體技術(shù),用高功率激光轟擊錫液滴靶產(chǎn)生13.5nm波長的EUV光。其中,基于逆壓電效應的壓電式高溫錫液滴噴射元件是獲取高重頻高溫錫液滴靶的關(guān)鍵部件。本項工作突破了耐250℃高溫微細壓電陶瓷管的組成設計和精細制備,以及高溫錫液滴噴射元件的結(jié)構(gòu)設計和封裝等關(guān)鍵技術(shù),成功研制了壓電式高溫液滴噴射元件...