皮秒激光加工的微織構(gòu)對(duì)碳化硅潤(rùn)濕性的影響
無機(jī)材料學(xué)報(bào)
頁(yè)數(shù): 8 2023-05-10
摘要: 為改善碳化硅的表面潤(rùn)濕性能,本研究利用脈沖激光加工表面處理和化學(xué)改性分別改善了碳化硅的表面形貌和表面能。實(shí)驗(yàn)選用皮秒激光加工方式構(gòu)造表面微織構(gòu),利用激光共聚焦顯微鏡分析了微織構(gòu)的微觀形貌,并進(jìn)一步分析了燒蝕形態(tài)與激光自身特性和加工參數(shù)之間的聯(lián)系。研究發(fā)現(xiàn),激光加工效果以燒蝕為主,重熔為輔,而由于碳化硅燒蝕閾值和激光能量在光斑中的高斯分布特性,形成的微織構(gòu)的燒蝕凹槽呈倒三角形。此...