用于高精度光柵信號的零相移濾波器設計

摘要： 為實現光柵的低成本、高精度測量，以柵距為20μm的光柵為研究對象，分別討論光柵輸出信號振幅、相位、直流漂移以及3次諧波存在時，與理想輸出信號對比所導致測量誤差的情況，發(fā)現光柵信號3次諧波、相位波動（非正交）引起的測量誤差比較大。由此提出先采用零相移濾波器進行光柵信號處理，然后再細分測量的方法，并詳細給出零相移濾波器的設計過程和參數選擇方法。通過實測結果，比較測量精度為0.1μm...