氮化鎵納米片的制備及測試表征

中國測試頁數(shù)： 4 2023-08-31

摘要：二維GaN納米結(jié)構(gòu)的制備對二維GaN基電子、光電子等納米器件具有重要意義。文章用化學(xué)氣相沉積（CVD）制備二維GaN納米片時(shí)用了液態(tài)金屬催化劑，成功制備二維GaN納米片，得到制備GaN納米片的最佳工藝條件。通過對制備的GaN納米片進(jìn)行掃描電子顯微鏡(SEM)、能譜儀(EDS)以及X射線衍射儀(XRD)測試表征，結(jié)果表明制備的GaN納米片是表面光滑、大小薄厚均勻、結(jié)晶度良好的六方...

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