具有F-P標(biāo)準(zhǔn)具照明系統(tǒng)的白光干涉儀測(cè)量量塊的測(cè)量不確定度分析

摘要： 文獻(xiàn)[1]F-P標(biāo)準(zhǔn)具用于量塊量值的傳遞與溯源一文(中國測(cè)試技術(shù)2012年增刊第2期54-58頁)介紹具有F-P標(biāo)準(zhǔn)具的白光干涉儀檢定量塊的光學(xué)原理及其結(jié)構(gòu)，以及檢定F-P標(biāo)準(zhǔn)具的等傾干涉的原理。而進(jìn)一步對(duì)具有F-P標(biāo)準(zhǔn)具的白光干涉儀檢定量塊的測(cè)量不確定度的分析，則由本文完成。該文首先對(duì)F-P標(biāo)準(zhǔn)具的檢定及其測(cè)量不確定度就行了分析。量塊尺寸在白光干涉儀上與標(biāo)準(zhǔn)具作比較測(cè)量。為減...