液浸多層薄膜-基底結(jié)構(gòu)中Scholte界面波特性研究

摘要： 多層薄膜-基底結(jié)構(gòu)在工業(yè)領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用，其中薄膜的厚度與彈性參數(shù)等特性對(duì)結(jié)構(gòu)與器件性能有顯著影響。但對(duì)多層薄膜材料參數(shù)進(jìn)行無(wú)損定征較為困難?？紤]界面波對(duì)界面附近材料特性敏感的特點(diǎn)，以及分層薄膜導(dǎo)致液固界面Scholte波頻散與分層材料速度分布密切相關(guān)等因素，文章首先利用全局矩陣?yán)碚摲治隽朔謱咏Y(jié)構(gòu)中的聲傳播，并給出界面上脈沖激勵(lì)的聲壓表達(dá)式，據(jù)此對(duì)水浸雙層薄膜-基底三層結(jié)構(gòu)材料聲...