高純及超高純四氯化鈦制備技術(shù)研究進(jìn)展

摘要： 四氯化鈦是鈦及其化合物生產(chǎn)中的重要中間產(chǎn)品，鈦工業(yè)的重要原料，有著極其廣泛的應(yīng)用。綜述了通過除釩、蒸餾、精餾、多級精餾等方法以及這些方法的組合來制備高純四氯化鈦；闡述了在高純四氯化鈦的基礎(chǔ)上，通過吸附、汽提、蒸餾、亞沸蒸餾、多級精餾等方法以及此類方法的組合，來制備可應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的超高純四氯化鈦。對超高純四氯化鈦的制備工藝進(jìn)行探討，并展望超高純四氯化鈦制備工藝的發(fā)展趨勢和方向...