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一種環(huán)形柵LDMOS器件的宏模型

微電子學 頁數(shù): 6 2023-06-20
摘要: 提出了一種適用于環(huán)形柵LDMOS器件的子電路宏模型。基于對環(huán)形柵LDMOS器件結構的分析,將環(huán)形柵LDMOS器件分為兩個部分,一個是中間的條形柵MOS部分,使用常規(guī)的高壓MOS模型;另一個是端頭部分,為一個圓環(huán)形柵極MOS器件,采用了一個單獨的模型?;?0 V BCD工藝的N溝道LDMOS器件進行模型提取與驗證。結果表明,建立的宏模型具有較強的幾何尺寸縮放功能,對于不同尺寸的...

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