基于分段預(yù)留法的互連線二維電容提取技術(shù)

摘要： 隨著制造工藝的不斷演進、電路規(guī)模的不斷增大，集成電路逐漸進入后摩爾時代。如何準(zhǔn)確快速地進行寄生電容參數(shù)提取，對于保證設(shè)計質(zhì)量、減少成本和縮短設(shè)計周期變得越來越重要。文章提出了一種基于分段預(yù)留法的二維電容提取技術(shù)，該技術(shù)基于改進的有限差分法，采用非均勻網(wǎng)格劃分和求解不對稱系數(shù)矩陣方程，模擬互連結(jié)構(gòu)橫截面，可以高效計算出主導(dǎo)體的單位長度總電容以及主導(dǎo)體和相鄰導(dǎo)體之間的單位長度耦和電...