低功耗電阻型MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器研究進(jìn)展

摘要： 電阻型MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器在環(huán)境空氣質(zhì)量監(jiān)測和有毒有害氣體檢測等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用，但是受限于功耗較高的原因，這類傳感器難以廣泛應(yīng)用于便攜式氣體檢測系統(tǒng)。文章綜述了近年來低功耗電阻型MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器的研究進(jìn)展，分別從氣敏材料、傳感器結(jié)構(gòu)和傳感器模組的集成電路等方面探討如何實(shí)現(xiàn)低功耗的電阻型MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器的制備，并展望低功耗的電阻型MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器未...