JLNT-FET和IMNT-FET中傳導(dǎo)機(jī)制對(duì)電熱特性影響研究
微電子學(xué)
頁(yè)數(shù): 7 2023-10-20
摘要: 無(wú)結(jié)納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管(JLNT-FET)和反轉(zhuǎn)模式納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管(IMNT-FET)因具有較好的驅(qū)動(dòng)能力和對(duì)短溝道效應(yīng)(SCE)卓越的抑制能力而被關(guān)注,自熱效應(yīng)(SHE)作為影響其電熱性能的關(guān)鍵問(wèn)題而被廣泛研究。文章基于TCAD數(shù)值仿真,通過(guò)對(duì)環(huán)境溫度(T_A)、接觸熱阻(R_(tc))以及側(cè)墻長(zhǎng)度(L_S)對(duì)體傳導(dǎo)的JLNT-FET和表面?zhèn)鲗?dǎo)的IMNT-FET的最大晶格...