電子制造摩擦學(xué)

摘要： 高智能化、高集成度的電子制造是高端制造業(yè)的核心上游，其加工的表/界面特征尺寸已逼近原子尺度，制造過(guò)程中的摩擦學(xué)問(wèn)題已成為影響加工質(zhì)量、決定產(chǎn)品性能的關(guān)鍵因素.文章中提出電子制造摩擦學(xué)概念，研究電子器件制造過(guò)程中微接觸表面間摩擦、磨損、潤(rùn)滑、黏著及其他微觀表/界面特性，并探索利用摩擦學(xué)制造高性能電子器件的新技術(shù)和新方法.在本文中概述了摩擦學(xué)對(duì)推動(dòng)電子制造發(fā)展的重要作用，以微機(jī)電系...