MoS₂-C異質(zhì)復(fù)合薄膜的真空超滑行為及其機制研究

摘要： 采用閉合場非平衡磁控濺射技術(shù)制備了MoS₂-C異質(zhì)復(fù)合薄膜，利用多環(huán)境可控摩擦試驗機測試了薄膜在真空環(huán)境中的摩擦學性能，通過拉曼光譜儀(Raman)、X射線衍射儀(XRD)和透射電子顯微鏡(TEM)等表征手段分析了薄膜摩擦前后結(jié)構(gòu)的變化，探討了超潤滑機理.結(jié)果表明：復(fù)合薄膜呈現(xiàn)致密的“納米晶/非晶”結(jié)構(gòu)，在真空中具有優(yōu)異的摩擦學性能，保持了超低摩擦系數(shù)(0.006～0.009...