半導(dǎo)體制造裝備用閥門技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀

摘要： 針對(duì)目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造裝備用閥門研究極少和國(guó)產(chǎn)化所面臨的諸多困難，對(duì)半導(dǎo)體制造裝備用閥門的技術(shù)發(fā)展水平進(jìn)行了綜述，介紹了半導(dǎo)體制造裝備用閥門的主要制造工藝和設(shè)備以及目前國(guó)內(nèi)外超高真空閥門的研究現(xiàn)狀，總結(jié)了半導(dǎo)體制造用閥門具有高潔凈度、長(zhǎng)壽命、超高真空密封性能和精密控制等顯著特點(diǎn)；指出了實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化面臨著磨損粒子產(chǎn)生機(jī)理不明、缺乏相應(yīng)長(zhǎng)壽命的配套件和產(chǎn)品技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)缺失等主要挑戰(zhàn)，并對(duì)...