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不同氣氛熱沖擊下Al:WS2薄膜摩擦學(xué)性能的響應(yīng)機(jī)理

空間科學(xué)學(xué)報(bào) 頁數(shù)： 8 2023-09-15
摘要： 采用磁控濺射技術(shù)制備了Al:WS2薄膜。為考查不同氣氛熱沖擊下Al:WS2薄膜摩擦學(xué)性能的響應(yīng)機(jī)理,采用自行研制的溫度交變真空摩擦試驗(yàn)機(jī)開展了真空、氮?dú)饧把鯕鈿夥盏抹C100～+250℃的熱沖擊試驗(yàn),并對(duì)熱沖擊后Al:WS2薄膜結(jié)構(gòu)、成分以及摩擦學(xué)性能進(jìn)行了研究。研究發(fā)現(xiàn),熱沖擊后,Al:WS2薄膜柱狀晶長(zhǎng)大,S含量減少,部分WS2被氧化為WO3,薄膜硬度增加。經(jīng)氮?dú)?..

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