藍(lán)寶石超精密拋光表面的熱修復(fù)機(jī)理研究

摘要： 通過化學(xué)機(jī)械拋光獲得的超精密藍(lán)寶石表面存在一定厚度的表面損傷層，直接制約藍(lán)寶石元件性能的提升。為降低藍(lán)寶石表層損傷層，研究了藍(lán)寶石超精密拋光表面的熱修復(fù)工藝。對(duì)超精密加工后藍(lán)寶石進(jìn)行熱修復(fù)處理，分析了熱修復(fù)對(duì)不同晶面藍(lán)寶石表面微觀形貌的影響規(guī)律。結(jié)合藍(lán)寶石各個(gè)晶面原子排布規(guī)律，藍(lán)寶石C面的晶層間距最大，相比其他晶面，C面藍(lán)寶石的超精密拋光表面更易形成臺(tái)階結(jié)構(gòu)；熱修復(fù)后，A面、R...