超聲橢圓振動(dòng)切削閃耀光柵的三維形貌建模及控制方法

摘要： 針對(duì)超聲橢圓振動(dòng)切削納米級(jí)閃耀光柵工藝中光柵三維形貌難以精準(zhǔn)預(yù)測(cè)及控制的技術(shù)難題，提出囊括合成切削軌跡、刀具三維幾何特征及工件材料屬性的光柵三維形貌迭代更新預(yù)測(cè)方法，并綜合考慮最小切削厚度效應(yīng)及后刀面與已加工表面間強(qiáng)犁壓相互作用對(duì)其的影響規(guī)律。以間距為1μm，閃耀角為12°，高度為106 nm的理想光柵三維形貌為例，實(shí)現(xiàn)了基于上述方法設(shè)定相應(yīng)工藝參數(shù)組合的光柵三維形貌確定性加工...