MEMS集成設(shè)計(jì)與制造技術(shù)進(jìn)展

摘要： 芯片技術(shù)已成為制約我國(guó)高質(zhì)量發(fā)展的瓶頸，基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的高性能微傳感器芯片更是備受歐美“卡脖子”的核心器件之一?！肮び破涫?，必先利其器”，與微電子芯片類(lèi)似，設(shè)計(jì)及制造技術(shù)也是制約MEMS芯片性能的關(guān)鍵。首先，從MEMS設(shè)計(jì)方法及工具出發(fā)，回顧MEMS設(shè)計(jì)方法從固定流程的結(jié)構(gòu)化設(shè)計(jì)方法到任意流程的泛結(jié)構(gòu)化設(shè)計(jì)方法的發(fā)展過(guò)程，介紹任意流程設(shè)計(jì)方法的優(yōu)勢(shì)，同時(shí)介紹目...