俄歇電子能譜分析

摘要： <正>當(dāng)原子內(nèi)殼層電子因電離激發(fā)而留下一個(gè)空位時(shí)，由較外層電子向這一能級(jí)躍遷使原子能量釋放的過程中，可以發(fā)射一個(gè)具有特征能量的X射線光電子，或者也可以將這部分能量傳給另外一個(gè)外層電子引起進(jìn)一步的電離，從而發(fā)射一個(gè)具有特征能量的俄歇電子，這個(gè)過程稱為俄歇過程。俄歇電子的能量一般為50～1500 eV,它在固體中平均自由程非常短，一般來說，能夠逸出表面的俄歇電子信號(hào)主要來自樣品表層...