基于機(jī)器視覺的集成電路聲掃圖像缺陷檢測(cè)軟件設(shè)計(jì)
計(jì)算機(jī)工程與科學(xué)
頁(yè)數(shù): 8 2023-10-15
摘要: 集成電路是電子產(chǎn)品的重要組成部分,其質(zhì)量控制和故障分析是電子產(chǎn)品能否長(zhǎng)期運(yùn)行的前提。聲學(xué)掃描顯微鏡SAM作為一種無(wú)損缺陷檢測(cè)手段,在集成電路成像檢測(cè)、內(nèi)部缺陷識(shí)別方面獲得了廣泛應(yīng)用。針對(duì)聲掃圖像缺陷檢測(cè)的智能化需求,以及對(duì)檢測(cè)的實(shí)時(shí)性和正確性要求,研發(fā)了基于機(jī)器視覺的集成電路聲掃圖像缺陷檢測(cè)軟件,提供了圖像處理和圖像檢測(cè)一體化功能。該軟件的算法框架結(jié)合了深度學(xué)習(xí)技術(shù)、OpenC...