結(jié)合逆向強(qiáng)化學(xué)習(xí)與強(qiáng)化學(xué)習(xí)的晶圓批處理設(shè)備調(diào)度方法
計(jì)算機(jī)集成制造系統(tǒng)
頁數(shù): 12 2022-10-12
摘要: 針對(duì)晶圓批處理設(shè)備調(diào)度問題,以最小化生產(chǎn)周期為優(yōu)化目標(biāo),考慮晶圓動(dòng)態(tài)到達(dá)、重入加工與不兼容性約束等特點(diǎn),提出了結(jié)合逆向強(qiáng)化學(xué)習(xí)與強(qiáng)化學(xué)習(xí)(combine Inverse Reinforcement Learning and Reinforcement Learning, IRL-RL)的晶圓批處理設(shè)備調(diào)度優(yōu)化方法。根據(jù)批處理設(shè)備的加工特性,將問題分解為組批和批次指派兩個(gè)子問題;...