雙臂非共程點(diǎn)光源非定域干涉小角度測(cè)量方法

摘要： 為了提高小角度測(cè)量的精度，提出了一種雙臂非共程點(diǎn)光源非定域干涉小角度測(cè)量方法。通過(guò)建立小角度測(cè)量的理論模型，搭建測(cè)角系統(tǒng)，并采用大靶面無(wú)鏡頭小像素的CCD記錄干涉同心圓環(huán)。其原理為利用暗環(huán)和亮環(huán)兼顧的多圓環(huán)回歸擬合系列圓環(huán)圓心定位方法實(shí)現(xiàn)圓心側(cè)移量的高精度測(cè)量，完成與激光干涉小角度測(cè)量?jī)x進(jìn)行比較測(cè)量實(shí)驗(yàn)。結(jié)果顯示，所提方法在3 h之內(nèi)，x方向上的穩(wěn)定性波動(dòng)幅度最大為-2.46″...