電感型光學(xué)超導(dǎo)轉(zhuǎn)變邊沿探測器件光學(xué)諧振腔設(shè)計

摘要： 為提高電感型光學(xué)超導(dǎo)轉(zhuǎn)變邊沿探測器件的探測效率，針對波長633 nm的光子，厚度15 nm的鈮(Nb)膜光子吸收層，設(shè)計了一種基于Al全反射層、SiO₂和SiN_x減反層的諧振腔結(jié)構(gòu)。通過仿真，選取低反射率參數(shù)分布區(qū)間，利用終點探測曲線作為諧振腔性能的判斷依據(jù)，通過磁控濺射工藝和化學(xué)氣相沉積工藝制備了諧振腔，并使用分光光度計測試了反射率，結(jié)果表明：制備的諧振腔可將633 nm...