基于MEMS原子氣室的飽和吸收穩(wěn)頻系統(tǒng)研究

摘要： 利用微機電系統(tǒng)(MEMS)制造工藝制備微型銣(Rb)原子氣室，并應用于飽和吸收光譜和激光穩(wěn)頻。通過深反應離子刻蝕和陽極鍵合工藝，實現(xiàn)玻璃-硅-玻璃“三明治”結構三腔型原子氣室。以780 nm波長的外腔半導體激光器作為飽和吸收光譜光源，搭建了基于MEMS Rb原子氣室的飽和吸收光譜穩(wěn)頻桌面系統(tǒng)，實現(xiàn)了對MEMS氣室控溫加熱，并分析了對不同溫度、不同激光功率條件下的飽和吸收譜線?；?..