集成電路用NTC熱敏電阻溫度計校準方法研究

摘要： 針對集成電路在21～23℃范圍內近mK量級測溫精度的需求，研究了負溫度系數(shù)(negtive temperature coefficient, NTC)熱敏電阻溫度計的校準方法對集成電路測溫系統(tǒng)精度的影響。利用比較法對24支3種不同型號的NTC熱敏電阻溫度計進行校準，使用最小二乘法進行基本方程、Hoge-1方程、Steinhart-Hart方程的系數(shù)計算，分析校準方程的內插殘差，...