數(shù)字全息技術(shù)的激光超精密加工表面檢測研究

摘要： 研究一種基于數(shù)字全息技術(shù)的激光超精密加工表面檢測方法。使用數(shù)字全息技術(shù)生成激光超精密加工工件的立體像，將生成的立體像轉(zhuǎn)化成激光超精密加工表面深度圖像，利用二維Arimoto熵完成圖像分割，提取出感興趣的激光超精密加工表面缺陷目標(biāo)區(qū)域，以此作為卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)輸入層的輸入數(shù)據(jù)，通過卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型構(gòu)建和訓(xùn)練，實現(xiàn)激光超精密加工表面檢測。實驗結(jié)果表明：該方法生成的立體影像能清晰呈現(xiàn)激光...