具有階梯型超晶格電子阻擋層和楔形空穴阻擋層結構的AlGaN基深紫外激光二極管性能優(yōu)化

摘要： 為了提升深紫外激光二極管（DUV LDs）的載流子注入效率，優(yōu)化其工作性能，提出了階梯型超晶格（SSL）電子阻擋層（EBL）和楔形（WS）空穴阻擋層（HBL）結構。使用Crosslight軟件分別仿真了具有矩形EBL和HBL、矩形超晶格（RSL）EBL和塔形（TS）HBL以及SSL EBL和WS HBL的DUV LDs。仿真結果表明，SSL EBL和WS HBL更有效地增加了量...