基于干涉的光學(xué)玻璃劃痕深度測(cè)量

摘要： 劃痕是光學(xué)玻璃常見(jiàn)的缺陷，會(huì)導(dǎo)致光束質(zhì)量下降、光學(xué)玻璃熱效應(yīng)增強(qiáng)、抗激光損傷性能降低等，所以在加工過(guò)程中需要對(duì)其進(jìn)行準(zhǔn)確檢測(cè)和表征。選取劃痕深度值為70 nm的光學(xué)玻璃為檢測(cè)樣本，采用光干涉法通過(guò)光波加載光學(xué)玻璃劃痕信息，接著對(duì)干涉條紋圖像進(jìn)行圖像處理和邊緣檢測(cè)，獲取劃痕的實(shí)際深度值。實(shí)驗(yàn)證明，光干涉法測(cè)量劃痕深度值為70 nm的光學(xué)玻璃時(shí)，相對(duì)誤差低于1%。所提方法為光學(xué)玻璃...