雙激光刻蝕與清洗撓性覆銅板工藝及質(zhì)量研究
激光與光電子學(xué)進(jìn)展
頁數(shù): 8 2022-11-02
摘要: 針對當(dāng)前納秒激光刻蝕覆銅板盲孔普遍存在的孔底殘膠(堵孔)、過蝕、側(cè)壁損傷和后續(xù)處理工序繁瑣等問題,提出了雙激光同步刻蝕與清洗的技術(shù),采用納秒激光和納秒匹配皮秒激光對覆銅板進(jìn)行了一階盲孔對比刻蝕試驗(yàn)。由試驗(yàn)結(jié)果得知,采用納秒匹配皮秒激光在厚度為49.00μm的覆銅板上刻蝕出了直徑為122.24μm、深度為(37.02±0.04)μm(加工要求37.00μm)、孔底粗糙度為0.16...