非平整表面飛秒激光加工方法及應(yīng)用

摘要： 飛秒激光加工技術(shù)主要是利用激光焦點對材料進行微區(qū)去除，結(jié)合加工路徑的精準規(guī)劃和激光參數(shù)的精確調(diào)控，實現(xiàn)各種功能微結(jié)構(gòu)的精密加工。然而，在實際加工過程中，材料表面并非都是理想平面，這引起激光焦點與材料表面的相對距離發(fā)生變化，導(dǎo)致材料表面接收的激光焦斑尺寸不一致，進而造成飛秒激光加工的微結(jié)構(gòu)不均勻，最終不滿足某些應(yīng)用場景的實際需求。針對該問題，提出了基于分區(qū)域平面擬合和二維插值的兩...