飛秒激光制備金屬表面微納結(jié)構(gòu)及其技術(shù)應(yīng)用

摘要： 飛秒激光加工是近年來(lái)微納加工領(lǐng)域中一種重要的加工方法。飛秒激光不僅能夠?qū)Σ牧线M(jìn)行表面改性、燒蝕，更具有在特定區(qū)域加工高精度三維結(jié)構(gòu)的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，飛秒激光加工在微納加工領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。本文主要闡述了飛秒激光與金屬相互作用的一般過(guò)程，介紹了飛秒激光直寫加工、飛秒激光誘導(dǎo)產(chǎn)生表面周期性結(jié)構(gòu)、飛秒激光復(fù)合化學(xué)方法等表面微納結(jié)構(gòu)的制備方法。然后，分別從環(huán)境工程、航空航天以及生物醫(yī)學(xué)...